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晶盛机电:12英寸碳化硅衬底送样验证 8英寸获海内外批量订单|材料|外延|知名企业

每经AI快讯,4月14日,晶盛机电(300316.SZ)发布投资者关系活动记录表公告,在半导体装备领域,12英寸常压硅外延设备实现小批量销售,关键指标达到国际先进水平;12英寸减压外延生长设备顺利实现销售出货并取得重要客户复购。化合物半导体装备方面,8-12英寸碳化硅外延设备及减薄设备顺利取得客户订单;碳化硅氧化炉、激活炉及离子注入等设备客户验证进展顺利。材料业务方面,公司成功建设12英寸碳化硅衬底加工中试线,并向产业链客户进行送样验证;8英寸碳化硅衬底在全球客户验证进展顺利,成功获取海内外客户的批量订单;12英寸光学级碳化硅衬底研发取得突破并小批量生产。

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