国产半导体设备有望进入“大规模量产替代”时代，南方基金郑晓曦布局行业成长机遇

当前，AI驱动先进逻辑芯片升级、HBM(高带宽存储)催热先进封装、存储芯片扩产潮三大产业趋势交汇，作为国产半导体薄膜沉积领域的龙头，微导纳米集中展出面向逻辑、存储芯片、先进封装等多领域的全系列薄膜沉积产品，彰显国产设备在核心赛道的技术突破与产业化进展。

作为半导体制造的核心环节，薄膜沉积设备直接决定芯片性能与良率，长期以来被海外企业主导。此次微导纳米推出的新一代iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积设备采用独特的Thunder Balance®技术，可实现射频效果的毫秒级切换，在薄膜均匀性、致密性及颗粒控制等关键指标上达到国际先进水平，能够满足逻辑芯片关键界面层与阻挡层的严苛制造需求，为产业升级替代提供国产核心设备支撑，有望成为国产薄膜沉积设备迈向“大规模量产替代”的重要环节。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。

南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）

南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）