国产光刻工艺实现技术优化，南方基金郑晓曦洞察产业成长机遇|涂胶

近日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种解决12寸BARC类工艺薄胶边缘风纹的涂胶方法”的专利。专利摘要显示，本发明涉及一种解决12寸BARC类工艺薄胶边缘风纹的涂胶方法，其对晶圆预湿处理溶剂进行调整，选择OK73对晶圆进行预湿处理，并通过控制晶圆甩干转速V2和甩干时间T2以控制晶圆表面残留的OK73溶液量，残留的溶液越多，膜厚相对越薄，这样相同膜厚下主转速更低，这样本发明方法涂胶转速能够控制在2000rpm以下，不会导致边缘风流过强出现风纹，从而可以有效解决12寸BARC类工艺薄胶边缘风纹问题，同时也可以满足薄胶涂覆要求，另外本发明方法无需对现有设备进行改造，仅通过调整涂胶工艺配方和步骤即可解决工艺异常，并且工艺步骤简单便于实施。长期来看，该涂胶工艺专利落地或将进一步完善国产半导体涂胶设备配套工艺体系，助力光刻设备产业链本土化发展。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技、北方华创、中微公司等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。

南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）

南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）